PROCESS CHAMBER FOR A CHEMICAL REACTION COATING PROCESS AND METHOD FOR COATING AN OPTICAL OBJECT BY MEANS OF A CHEMICAL REACTION COATING PROCESS

摘要

Die Erfindung betrifft eine Prozesskammer (10) für einen chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess zum Beschichten von mindestens einem zu beschichtenden optischen Objekt (22). Die Prozesskammer (10) umfasst dabei eine Kammerwandung (18), die einen Prozessraum (16) zumindest zum Teil einschließt, mindestens eine Durchführöffnung (26; 34), um zumindest einen Prekursor (28a; 28b) und/oder ein Spülgas (29) durch die Durchführöffnung (26; 34) durchzuführen. Weiterhin weist die Prozesskammer (10) zumindest ein erstes Prozesskammerelement (12; 14) auf, welches einen ersten Teil der Kammerwandung (18) bereitstellt Das erste Prozesskammerelement (12; 14) ist derart ausgebildet, dass das mindestens eine zu beschichtende optische Objekt (22) derart am zumindest einen ersten Prozesskammerelement (12; 14) anordenbar ist, dass das mindestens eine optische Objekt (22) selbst einen zweiten Teil der Kammerwandung (18) bildet.