| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE IMAGING QUALITY OF AN OPTICAL SYSTEM, AND OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einerseits eine Maske zur Bestimmung der Abbildungsgüte eines optischen Systems, wobei die Maske eine ausgedehnte Struktur aufweist, und ein optisches System mit einer derartigen Maske. Die Erfindung betrifft andererseits ein optisches System mit mindestens einem Mittel zur Variierung der Beleuchtungsverteilung in der Pupille.</p> |
| 申请公布号 |
WO2015044362(A1) |
申请公布日期 |
2015.04.02 |
| 申请号 |
WO2014EP70640 |
申请日期 |
2014.09.26 |
| 申请人 |
CARL ZEISS AG |
发明人 |
STOPPE, LARS;GROSS, HERBERT;PETSCHULAT, JÖRG;RAABE, CHRISTIAN |
| 分类号 |
G01M11/02 |
主分类号 |
G01M11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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