| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Überwachung, insbesondere zur Regelung, eines Schneidprozesses an einem Werkstück (3), umfassend: ein Fokussierelement (4) zur Fokussierung eines Hochenergiestrahls (2), insbesondere eines Laserstrahls, auf das Werkstück (3), eine Bilderfassungseinrichtung (9) zur Erfassung eines zu überwachenden Bereichs an dem Werkstück (3), der einen Wechselwirkungsbereich (18) des Hochenergiestrahls (2) mit dem Werkstück (3) umfasst, sowie eine Auswerteeinrichtung (19), die ausgebildet ist, anhand des erfassten Wechselwirkungsbereichs (18) mindestens eine charakteristische Kenngröße (α) des Schneidprozesses, insbesondere einer bei dem Schneidprozess gebildeten Schnittfuge (16), zu ermitteln. Die Bilderfassungseinrichtung (9) ist zur Bildung eines Beobachtungsstrahls (7a) zur Beobachtung des Wechselwirkungsbereichs (14) aus einer unter einem Winkel (&bgr;) zur Strahlachse (13) des Hochenergiestrahls (2) verlaufenden Beobachtungsrichtung (R1) ausgebildet und umfasst eine Abbildungsoptik (14) zur Erzeugung eines Bildes des Wechselwirkungsbereichs (18) aus der unter dem Winkel (&bgr;) zur Strahlachse (13) des Hochenergiestrahls (2) verlaufenden Beobachtungsrichtung (R1). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren. |
