超音波振動子エレメントおよび超音波内視鏡

摘要

超音波振動子エレメント２０は、平面視円形のキャビティ１４を介して配向配置している下部電極部１２Ａと上部電極部１６Ａを含むメンブレン１８とを有する複数の静電容量型の超音波セル１０を具備し、キャビティ１４の厚さがキャビティ１８の中心部から外周部に向かって曲線的に単調減少している。