| 摘要 |
<p>Die Erfindung stellt einen Tiegelverdampfer insbesondere zur Verwendung in Beschichtungsanlagen zum Beschichten von Substraten mittels Gasabscheidung bereit. Der Tiegelverdampfer weist einen Tiegel zur Aufnahme von Verdampfermaterial und eine am Tiegel angeordnete Heizvorrichtung zum Aufheizen des Verdampfermaterials auf, wobei die Heizvorrichtung eine Einrichtung zum Messen der eingesetzten Heizleistung aufweist. Ein Thermoelement erlaubt die Messung der Temperatur des Tiegels. Weiterhin weist der Tiegelverdampfer eine durch ein Kühlmittel gekühlte Abschirmung, die den Tiegel im Wesentlichen umgibt, und eine Einrichtung zum Messen der durch das Kühlmittel abgeführten Energie auf. Durch eine Steuervorrichtung wird die Aufdampfrate des Verdampfungsmaterials aus dem Tiegel geregelt auf der Basis der eingesetzten Heizleistung, der Temperatur des Tiegels und der durch das Kühlmittel abgeführten Energie. Die Erfindung stellt weiterhin ein Verfahren zum Verdampfen eines Verdampfermaterials bereit.</p> |
