トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物及び当該アルミニウム化合物を用いるアルミニウム含有薄膜の製造方法

摘要

本発明は、一般式（１）（式中、Ｒは炭素原子数１〜６の直鎖状のアルキル基を示し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ互いに独立に、水素原子、又は炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示すか、または、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は互いに結合して環を形成している。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が水素原子である場合を除く。なお、３つのジアルキルアミド配位子は同一でも異なっていてもよい。）で示されるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物、及び当該アルミニウム化合物を用いるアルミニウム含有薄膜の製造方法に関する。