Verfahren zum Herstellen einer Struktur, optisches Bauteil, optischer Schichtstapel

摘要

Verfahren zum Herstellen einer optischen Struktur aus aushärtbarem Material mit folgenden Schritten: Abformen und Aushärten (110) einer ersten Struktur (220) aus einem ersten aushärtbaren Material auf einem Substrat (210); wobei das Abformen und Aushärten (110) der ersten Struktur (220) ortsselektiv erfolgt, so dass ein erster Bereich des Substrates (210) freiliegt; Abformen und Aushärten (120) einer zweiten Struktur (230) aus einem zweiten aushärtbaren Material auf einer dem Substrat (210) abgewandten ersten Oberfläche der ersten Struktur (220), so dass sich an der ersten Oberfläche der ersten Struktur (220) eine Grenzfläche zwischen der ersten Struktur (220) und der zweiten Struktur (230) ausbildet und so dass die erste Struktur (220) von der zweiten Struktur (230) an einem Durchgangsbereich (240) nicht bedeckt ist, wobei das Abformen und Aushärten (120) der zweiten Struktur (230) so durchgeführt wird, dass vor dem Einbringen (130) des Lösungsmittels, zwischen der zweiten Struktur (230) und dem ersten Bereich aushärtbares Material abgeformt und ausgehärtet ist, das nach Aushärtung unlöslich für das Lösungsmittel ist; und Einbringen (130) eines Lösungsmittels in den Durchgangsbereich (240) nach Abformen und Aushärten der zweiten Struktur (230), um das erste aushärtbare Material der ersten Struktur (220) zu lösen, so dass ein Leerraum (270) zwischen der zweiten Struktur (230) und einer Oberfläche des Substrates (210) gebildet wird, wobei das erste aushärtbare Material nach Aushärtung löslich für das Lösungsmittel ist und das zweite aushärtbare Material nach Aushärtung unlöslich für das Lösungsmittel ist.