发明名称 |
一种旋转研磨台 |
摘要 |
本实用新型公开了一种旋转研磨台,包括底座、壳体、控制器、驱动马达和研磨平台,所述底座包括四根立柱和一个长方形板,所述四根立柱一一对应地固定在所述长方形板的四个角,且所述长方形板位于所述四根立柱的上方;所述壳体呈圆筒形且垂直设置,所述壳体安装在所述底座的长方形板上;所述控制器安装在所述底座的一根立柱上;所述驱动马达安装在所述壳体内,与所述控制器电连接,所述驱动马达的输出端朝上设置;所述研磨平台安装在所述驱动马达的输出端上。本实用新型的旋转研磨台,操作简单,生产效率高,可保证集成电路零配件零部件的精密清洗质量。 |
申请公布号 |
CN204235357U |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
CN201420633620.4 |
申请日期 |
2014.10.29 |
申请人 |
上海科秉电子科技有限公司 |
发明人 |
徐国栋 |
分类号 |
B24B37/27(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I |
主分类号 |
B24B37/27(2012.01)I |
代理机构 |
上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 |
代理人 |
李征旦 |
主权项 |
一种旋转研磨台,包括底座、壳体、控制器、驱动马达和研磨平台,其特征在于,所述底座包括四根立柱和一个长方形板,所述四根立柱一一对应地固定在所述长方形板的四个角,且所述长方形板位于所述四根立柱的上方;所述壳体呈圆筒形且垂直设置,所述壳体安装在所述底座的长方形板上;所述控制器安装在所述底座的一根立柱上;所述驱动马达安装在所述壳体内,与所述控制器电连接,所述驱动马达的输出端朝上设置;所述研磨平台安装在所述驱动马达的输出端上。 |
地址 |
201709 上海市青浦区白鹤镇外青松公路3236号 |