固体摄像器件、电子装置以及该固体摄像器件的制造方法

摘要

本发明涉及固体摄像器件、其制造方法和电子装置。该固体摄像器件包括：半导体基板，具有多个光电二极管以及第一、第二和第三布线部；半导体基板上的第一布线层，包括多个金属膜并延伸过所有布线部；第一布线层上的第二布线层，延伸过第一和第二布线部；和第二布线层上的第三布线层，延伸过第一布线部并包括多个金属膜，第一和第二布线部之间的边界附近以及第二和第三布线部之间的边界附近分别形成第一和第二高度差部分，各布线部的膜厚度从第三向第一布线部依次减小，在第三布线部上金属膜之间的多个凹部由钝化膜填充或设置在钝化膜的表面上并吸收在第二高度差部分堆积的材料的部分。本发明的固体摄像器件和电子装置能够大幅度提高光学灵敏度。

主权项

一种固体摄像器件，其包括：半导体基板，其上具有多个光电二极管，该半导体基板包括第一布线部、第二布线部和第三布线部；在所述半导体基板上的第一布线层，该第一布线层包括多个金属膜并延伸过所有所述布线部；在所述第一布线层上的第二布线层，该第二布线层延伸过所述第一布线部和所述第二布线部；以及在所述第二布线层上的第三布线层，该第三布线层延伸过所述第一布线部，并包括多个金属膜，其中，所述第二布线部和所述第一布线部之间的厚度差在所述第一布线部和所述第二布线部之间的边界附近形成第一高度差部分，且所述第三布线部和所述第二布线部之间的厚度差在所述第二布线部和所述第三布线部之间的边界附近形成第二高度差部分，以及所述各布线部的膜厚度从所述第三布线部向所述第一布线部依次减小，所述固体摄像器件还包括在所述第三布线部上所述金属膜之间的多个凹部，所述凹部由钝化膜填充或设置在钝化膜的表面上，所述凹部能够吸收在所述第二高度差部分堆积的材料的部分。