发明名称 |
稀土抛光液及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种稀土抛光液及其制备方法,所述稀土抛光液,包括如下重量份的组分:稀土抛光粉20-50份,有机溶剂3-15份,粘土1-5份,水30~76份。本发明解决了抛光粉在水中的悬浮分散,克服了目前抛光液在制备、储存过程中的胶连问题及使用过程中具有良好清洗问题,具有悬浮分散性能好、抛光速率快、抛光精度高、抛光制品的清洗性能优异等特点。本发明适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密密器件的表面抛光加工,满足了日益严格的商业对抛光材料在精度、抛蚀量、易清洗等抛光良率的要求。 |
申请公布号 |
CN104479555A |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
CN201410634606.0 |
申请日期 |
2014.11.12 |
申请人 |
诺轩化学科技(上海)有限公司 |
发明人 |
岑仲浙;周梦丹 |
分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 |
代理人 |
罗大忱 |
主权项 |
稀土抛光液,其特征在于,包括如下重量份的组分:<img file="FDA0000605880960000011.GIF" wi="1022" he="532" /> |
地址 |
201713 上海市青浦区朱家角镇沈砖路1576号C176室 |