用组合物处理材料的装置和方法

摘要

用组合物处理目标材料的装置和方法，包括用含有硅烷的材料和烃类溶剂的组合物处理目标材料形成处理过的材料的材料处理部分，以及中和处理过的材料从而使得该处理过的材料具有约7至约8范围的pH的中和部分。

主权项

一种用组合物处理目标材料的方法，所述的方法包括下列步骤：提供一种具有材料处理部分和不同于所述材料处理部分的中和部分的装置；在材料处理部分用包括含有硅烷的材料和烃类溶剂的组合物处理目标材料和形成处理过的材料，其中在处理过的材料中存在HCl作为处理的副产物；在中和部分将处理过的材料暴露于蒸气，其中所述蒸气包括中和剂，其中使所述蒸气通过处理过的材料以引起处理过的材料的水合、加热所述处理过的材料、和使任何潜在的含有硅烷的材料反应，其中中和剂中和在处理过的材料中的HCl，使得处理过的材料具有7至8范围的pH。