输送装置及真空装置

摘要

本发明提供一种在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下及该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送、并且能够尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由第3左臂（3L）、第3右臂（3R）连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作而与基板（10）的侧部抵接、将基板（10）向朝向连杆机构（20）的方向施力的下游侧施力机构（7），在载置部（5）的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作、与基板（10）的侧部抵接而将基板（10）向基板输送方向施力的上游侧施力机构（9）。

主权项

一种输送装置，其特征在于，具备：伸缩自如的连杆机构，具有被传递来自驱动源的动力的多个臂；载置部，经由驱动连杆部连结在上述连杆机构的动作前端部上，用来载置输送物；在上述载置部的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向朝向上述连杆机构的方向施力的下游侧施力机构；在上述载置部的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着上述连杆机构的驱动连杆部的动作、与该输送物的侧部抵接而将该输送物向该基板输送方向下游侧施力的上游侧施力机构；上述上游侧施力机构具备：凸轮驱动面，设在上述连杆机构的驱动连杆部上；和从动机构部，具有抵接在该凸轮驱动面上而能够从动的从动辊，具有对应于该从动辊的移动而被沿着基板输送方向导引移动的施力部；构成为，通过上述下游侧施力机构及上述上游侧施力机构进行的施力，将该输送物从基板输送方向的两侧夹持保持。