用于丝网印刷之短热力曲线炉

主权项

一种用于处理基板的设备，该设备包含：一第一输送装置，用以传送一或多个基板通过被部分围住之一处理区，其中在一第一方向上传送该一或多个基板通过该处理区；一辐射热传构件，用以传递一或多个波长之一电磁能至位于该第一输送装置上的该一或多个基板；以及一对流热传构件，包含：一气室，内设一加热元件；以及一流体输送装置，用以移动一气体经过设于该气室中的该加热元件，其中该气室引导该气体在一第二方向上流过该处理区内位于该第一输送装置的一表面上之各该一或多个基板的一表面，该第二方向与该第一方向相对并平行于该第一输送装置之该表面。