石墨烯纳米窄带的制备方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯纳米窄带的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，设置一石墨烯膜于该基底的上表面，设置两个条形电极于该石墨烯膜的上表面，且与该石墨烯膜电绝缘；提供一碳纳米管拉膜复合结构，覆盖于该石墨烯膜的上表面，且与所述两个条形电极电接触，该碳纳米管拉膜复合结构由一碳纳米管拉膜结构与一高分子材料复合而成，该碳纳米管拉膜结构包括多个定向排列的碳纳米管束以及分布于其间的带状间隙；利用电子束轰击的方法去除所述多个碳纳米管束周围的高分子材料，从而露出该多个碳纳米管束；利用反应离子刻蚀该多个碳纳米管束及位于其下方的石墨烯膜，获得多个定向排列的石墨烯纳米窄带。本发明还涉及一种高分子掩膜的制备方法。

主权项

一种石墨烯纳米窄带的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，设置一石墨烯膜于该基底的上表面，间隔设置两个相互平行的条形电极于该石墨烯膜远离基底的表面，且与该石墨烯膜电绝缘；提供一碳纳米管拉膜复合结构，覆盖于该石墨烯膜远离基底的表面，该碳纳米管拉膜复合结构与所述两个条形电极电接触，该碳纳米管拉膜复合结构由一碳纳米管拉膜结构与一高分子材料复合而成，该碳纳米管拉膜结构包括多个定向排列的碳纳米管束以及分布于所述碳纳米管束之间的带状间隙，该高分子材料的一部分分布于所述多个碳纳米管束周围，另一部分分布于所述多个碳纳米管束之间的带状间隙；利用电子束轰击的方法去除所述分布于多个碳纳米管束周围的高分子材料，从而露出该多个碳纳米管束；利用反应离子刻蚀该多个碳纳米管束及位于该多个碳纳米管束下方的石墨烯膜，获得多个定向排列的石墨烯纳米窄带；以及利用超声处理的方法，将残余的高分子材料与获得的石墨烯纳米窄带分离。