感放射线性树脂组成物、抗蚀剂图案形成方法、聚合物及化合物;RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, POLYMER, AND COMPOUND

摘要

本发明提供一种感放射线性树脂组成物，其含有：包括下述式(1)所表示的第1结构单元的第1聚合物、以及感放射线性酸产生体。下述式(1)中，Z 1 ~Z 4 分别独立地为氢原子、氟原子、1价烃基、1价氟化烃基或者包含2价以上的杂原子的1价基。R 3 为1价烃基或者1价氟化烃基。其中，Z 1 、Z 2 及R 3 的至少任一者包含氟原子。另外，Z 1 ~Z 4 、环结构(a)及环结构(b)中的至少任一者包含2价以上的杂原子。