减压乾燥方法及减压乾燥装置

主权项

一种减压乾燥方法，系将被形成有涂布膜之被处理基板置于减压环境下而使前述涂布膜中之溶剂蒸发，并施予前述涂布膜的乾燥处理之减压乾燥方法，其特征为：在将被形成有涂布膜之前述基板收容在腔中并且将前述腔内设为减压环境之工程中，包含有：将前述腔内之压力以第1减压速度来减压，并设为较前述溶剂之蒸气压更高而至少不会使前述溶剂突沸性地蒸发的第1压力值之步骤；和从前述第1压力值起，以较前述第1减压速度更低之第2减压速度来缓慢地减压，直到至少成为前述溶剂的蒸气压为止之步骤，使前述腔内之压力设为前述溶剂之蒸气压之后，又实施以前述第2减压速度来减压，并设为较前述溶剂之蒸气压更低的第2压力值之步骤，当前述腔内之压力被减压至前述第2压力值时，前述溶剂之蒸发结束，并结束减压乾燥处理。