玻璃基板再生装置

主权项

一种玻璃基板再生装置，其一面搬运在玻璃基板上形成有由树脂及金属之任一个所构成之1层以上的层的不良基板，一面从该不良基板再生该玻璃基板，该装置至少具备有：第1硷性液处理部，系以硷性液处理该不良基板，并将位于该不良基板之表面的第1树脂层剥离；第1酸性液处理部，系设置于该第1硷性液处理部的下游，以酸性液处理该不良基板，并将位于该不良基板之表面的金属膜剥离；以及第2硷性液处理部，系设置于该酸性液处理部的下游，以硷性液处理该不良基板，并将位于该玻璃基板之表面的第2树脂层剥离。