銅およびチタンを含む多層膜のエッチングに使用される液体組成物、および該組成物を用いたエッチング方法、多層膜配線の製造方法、基板

摘要

本発明は、銅およびチタンを含む多層膜のエッチングに使用される液体組成物、および該液体組成物を用いた銅およびチタンを含む多層膜のエッチング方法、該エッチング方法を用いた多層膜配線の製造方法、並びに該製造方法により製造された多層膜配線が設けられた基板を提供する。本発明においては、（Ａ）マレイン酸イオン供給源、（Ｂ）銅イオン供給源、および（Ｃ）フッ化物イオン供給源を含み、かつ、液体組成物のｐＨ値が０〜７である、液体組成物を用いる。