一种硬韧纳米复合ZrAlCuN涂层及其制备方法

摘要

一种硬韧纳米复合ZrAlCuN涂层及其制备方法涉及纳米复合涂层及其制备方法。在金属基体表面生成一层厚度为几个微米的硬韧涂层,提高基体在冲击载荷作用下抵抗磨损的能力，可作为刀具及模具表面涂层及耐冲蚀防护涂层。涂层为由过渡层和工作层组成的复合涂层，过渡层起到提高结合强度的作用。工作层是由氮化物、金属单质组成纳米复合涂层，金属单质与氮化物不互溶。方法为采用磁控溅射技术溅射Zr、Al、Cu元素，以N₂为工作气体，共沉积形成纳米复合结构涂层。该涂层不仅具有高硬度，同时具备高的韧性，并且与基体结合牢固。

主权项

一种硬韧纳米复合ZrAlCuN涂层，其特征在于:在基体表面依次溅射有过渡层和工作层；过渡层是金属层，由锆、铝、铜组成；工作层是氮化物ZrAlCuN陶瓷层；所说的基体指钛合金或硬质合金金属材料。