发明名称 |
磁性非对称型柱或核球的植球治具及植球方法 |
摘要 |
本发明涉及一种磁性非对称型柱或核球的植球治具及植球方法,其特征是:包括托盘和吸头,托盘的上部和吸头下部分别呈开口状,托盘的下部和吸头的上部分别设置抽真空口,在托盘内固定下模,在吸头内固定上模;在所述下模和托盘的下部之间形成第一真空腔,在上模和吸头的上部之间形成第二真空腔,第一真空腔和第二真空腔分别与抽真空口连通,抽真空口分别连接真空装置;在所述下模上表面设置第一BGA点阵孔,在上模下表面设置第二BGA点阵孔,第一BGA点阵孔与第一真空腔连通,第二BGA点阵孔与第二真空腔连通,第一BGA点阵孔与第二BGA点阵孔呈上下映射;所述托盘与振动装置连接,托盘和吸头一侧分别设置电磁装置。本发明实现了非对称型柱或核球的植球,锡球或锡柱在高度方向达到使用需求,有效减小植球间距。 |
申请公布号 |
CN104485300A |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
CN201410757801.2 |
申请日期 |
2014.12.10 |
申请人 |
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
发明人 |
陈南南;王宏杰 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 |
代理人 |
殷红梅;刘海 |
主权项 |
一种磁性非对称型柱或核球的植球治具,其特征是:包括托盘(1)和吸头(2),托盘(1)的上部和吸头(2)下部分别设置腔体,托盘(1)的下部和吸头(2)的上部分别设置抽真空口(5),在托盘(1)内固定下模(3),在吸头(2)内固定上模(4);在所述下模(3)和托盘(1)的下部之间形成第一真空腔(6),在上模(4)和吸头(2)的上部之间形成第二真空腔(7),第一真空腔(6)和第二真空腔(7)分别与抽真空口(5)连通,抽真空口(5)分别连接真空装置;在所述下模(3)上表面设置第一BGA点阵孔(8),在上模(4)下表面设置第二BGA点阵孔(9),第一BGA点阵孔(8)与第一真空腔(6)连通,第二BGA点阵孔(9)与第二真空腔(7)连通,第一BGA点阵孔(8)与第二BGA点阵孔(9)呈上下映射;所述托盘(1)与振动装置连接,托盘(1)和吸头(2)一侧分别设置电磁装置。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋 |