一体成型管靶的生产方法

摘要

本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种一体成型管靶的生产方法。将由靶材材料元素组成的靶材材料粉末置于包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，在热等静压结束后，除去包套中的外管和固定环，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得一体成型管靶；所述的包套包括同轴设置的内管和外管以及用于固定内管和外管的两端的固定环。本发明成功利用热等静压法生产出一体成型管靶，且所得一体成型管靶成分均匀、无可见偏析，靶管与衬管之间结合紧密，晶粒细小、纯度高，能够满足液晶显示和触控屏行业要求。

主权项

一种一体成型管靶的生产方法，其特征在于将由靶材材料元素组成的靶材材料粉末置于包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，在热等静压结束后，除去包套中的外管和固定环，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得一体成型管靶；所述的包套包括同轴设置的内管和外管以及用于固定内管和外管的两端的固定环。