纳米结构减反射层及其在LED的应用

摘要

提供了一种表面为碳化硅或氮化镓材料的光学设备，该光学设备具有表面中形成的非周期性纳米结构，该纳米结构包括多个锥形结构，其非周期性地分布在表面上。多个锥形结构具有随机高度分布，并且该锥形结构的至少一部分的高度至少为100纳米。非周期性确保光从芯片出射以后的均匀空间光分布。还提供了一种在光学设备上制造非周期性纳米结构表面的方法，该方法包括步骤：提供碳化硅或氮化镓设备，在基底的至少一部分上形成掩模材料的薄膜，处理薄膜以形成薄膜材料的纳米岛，主要以各向异性刻蚀基底，并同时至少刻蚀薄膜掩模材料的至少一部分，以形成非周期性纳米结构，该纳米结构包括多个锥形表面结构。光学设备可包括白光LED、或用于白光源的波长转换器。

主权项

一种光学设备，其具有至少一个碳化硅或氮化镓材料的表面，用于将光辐射从设备内部向周围传输，所述至少一个表面具有碳化硅或氮化镓材料形成的亚波长纳米结构，所述亚波长纳米结构包括多个锥形结构，其特征在于，所述多个锥形结构具有随机高度分布，并且非周期性地分布在所述至少一个表面上，所述锥形结构中至少一部分的高度至少为100纳米。