| 摘要 |
<p>본 발명은 시료 표면 상에 나노구조체를 맵핑하기 위한 주사 탐침 현미경 소자에 관한 것으로서, 상기 시료 표면을 주사하기 위한 복수의 탐침 및 상기 시료에 대해 상기 탐침을 구동할 수 있는 하나 이상의 구동 액추에이터를 포함하고, 상기 복수의 탐침은 각각 상기 시료 표면에 주사하기 위해 상기 시료 표면에 접촉하도록 배치된 캔틸레버 상에 실장되는 탐침 팁을 포함하고, 상기 소자는, 상기 나노구조체를 맵핑하기 위해, 상기 탐침 팁이 상기 시료 표면에 접촉하는 경우, Z 방향에 따라 각각의 탐침 팁의 위치를 결정하기 위한 복수의 Z 위치 검출기를 더 포함하고, 상기 Z 방향은 상기 시료 표면에 대해 횡방향이고; 상기 복수의 탐침은 복수 헤드 상에 실장되고, 각각의 헤드는 상기 복수 탐침 중 하나 이상을 포함하고; 상기 각각의 헤드는 상기 헤드에 결합된 지지체 베이스 상에 실장되고, 각각의 지지체 베이스는 그 결합된 헤드가 상기 시료에 대해 개별적으로 구동되도록 배치되고; 상기 결합 헤드의 개별적인 구동이 가능하도록, 각각의 지지체 베이스는 상기 시료 표면에 평행한 적어도 한 방향으로 상기 시료에 대해 상기 지지체 베이스에 결합된 헤드를 구동시키기 위해 적어도 하나의 상기 구동 액추에이터를 포함하는 면 액추에이터 유닛을 포함하고, 상기 면 액추에이터 유닛은 상기 지지체 베이스에 따라 제1실장 위치에 위치하고, 상기 제1실장 위치는 제2실장 위치로부터 멀리 떨어져 있고, 상기 지지체 베이스에 결합된 헤드는 상기 지지체 베이스 상의 상기 제2실장 위치에 실장된다.</p> |
