具有光子晶体结构缺陷光波导之发光元件及其制造方法;LIGHT EMITTING COMPONENTS WITH PHOTONIC CRYSTAL STRUCTURE DEFECT LIGHT GUIDE AND THE PRODUCTION METHOD THEREOF

摘要

本发明为一种具有光子晶体光波导之发光元件及其制造方法。具有光子晶体光波导之发光元件包括有：一半导体基板，一光子晶体结构层，一半导体层，一发光层以及二电极层。具有光子晶体光波导之发光元件之制造方法则包括下列步骤：形成氮化镓成核成长层，进行蚀刻、填胶及露出长晶面，形成光波导结构以及形成半导体层、发光层及电极层。本发明之实施，可以于发光元件内部直接以半导体制程形成光子晶体结构缺陷光波导，并可于制程中选定局限于光子晶体结构缺陷光波导内行进之光线或光束的频率。