在目标设计及生产中之直接自行组装;DIRECT SELF ASSEMBLY IN TARGET DESIGN AND PRODUCTION

摘要

本发明提供目标设计方法及目标，其中目标元件与其背景之间的区别中之至少某些区别系藉由分段该等目标元件及其背景中之任一者来实施。使用引导自行组装(DSA)程序来产生精细分段，且使用聚合物线及其导引线之各种特性来区别目标元件与其背景。本发明关于DSA程序以及DSA程序之最佳化来揭示目标设计及设计原理，以在存在生产不准确度时但仍产生高计量量测准确度。此外，本发明提供用于增强一DSA生产之聚合物表面之有序区且使用该等有序区作为生产程序之目标元件及硬遮罩之设计及方法。该等目标及方法可经组态以使用偏光区分目标元件或DSA特征来实现计量量测。