于电子束检测期间适应性扫描一样本之方法及系统;METHOD AND SYSTEM FOR ADAPTIVELY SCANNING A SAMPLE DURING ELECTRON BEAM INSPECTION

摘要

一种用于适应性电子束扫描之系统可包含经组态以使一电子束扫描跨越一样本之表面之一检测子系统。该检测子系统可包含一电子束源、一样本载台、一组电子光学元件、一侦测器总成及以通信方式耦合至该检测子系统之一或多个部分之一控制器。该控制器可评估用于检测之该样本之一区域之一或多个部分之一或多个特性，且回应于该所评估之一或多个特性而调整该检测子系统之一或多个扫描参数。