| 摘要 |
本发明提供一种能够不使用切割锯，而以乾式之简单手法具效果地、且较完美地进行分断之影像感测器用晶圆积层体之分断方法及分断装置。;本发明之影像感测器用晶圆积层体W之分断方法，该影像感测器用晶圆积层体W，系具有将玻璃晶圆1、与矽晶圆2，藉由以包围各光二极体形成区域3之方式配置之树脂层4贴合而成之构造；使刻划轮10，沿着玻璃晶圆1上面之分断预定线按压、转动而形成刻划线S1；接着，使于刃体25a前端具有突状之刃前端25b的钻石刃刀具25，沿矽晶圆2之外表面之分断预定线按压、移动而形成刻划线S2；接着，从矽晶圆2之外表面侧沿着刻划线S2以按压构件14按压而使晶圆积层体W挠曲，分断玻璃晶圆1及矽晶圆2。 |
