基于楔形玻璃条的微阶梯反射镜的制作方法

摘要

本发明涉及一种基于楔形玻璃条的微阶梯反射镜的制作方法，属于光学冷加工技术领域。该方法的主要工艺步骤为：采用常规光学零件加工工艺制作一个楔形玻璃块和n个楔形玻璃条；按序选取楔形玻璃条并逐个反角度光胶在楔形玻璃块的斜面上，相邻楔形玻璃条的接触面用紫外胶固连；水平方向反复推动后续一个楔形玻璃条直到阶梯厚度差检测仪测量出相邻楔形玻璃条的阶梯厚度差达到要求为止，用紫外灯固化紫外胶；最后对微阶梯反射镜的阶梯面镀反射膜。本发明解决了高精度制作微阶梯反射镜的问题，从而为实现高光谱分辨率的静态傅里叶变换光谱仪提供了技术支持。

主权项

一种基于楔形玻璃条的微阶梯反射镜的制作方法，其特征在于，该方法包括以下工艺步骤：第一步，对一矩形玻璃块的六个面进行研磨，采用常规光学零件加工工艺对矩形玻璃块中最大尺寸的一个面进行抛光，抛光面的面形精度为：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度为0.012μm；最大尺寸两个面之间的平行度为30″；第二步，选取n个矩形条且三组对面尺寸不等的玻璃条，对n个玻璃条的六个面进行研磨，采用常规光学零件加工工艺对n个玻璃条中最大尺寸的两个面和次大尺寸的两个面进行抛光，抛光面的面形精度为：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度均为0.012μm；最大尺寸两个面之间和次大尺寸两个面之间的平行度均为30″，最大尺寸面和次大尺寸面之间夹角为90°±30″；n≥2；第三步，将玻璃条逐一光胶在矩形玻璃块的抛光面上，使得玻璃条的一个次大尺寸面与矩形玻璃块的抛光面相接触；用紫外胶对所有玻璃条的相邻面进行固连；通过手压方式使各玻璃条的另一次大尺寸面位于同一个水平面上；使用紫外灯固化紫外胶，之后从矩形玻璃块上取下固化的玻璃条组合件，并且按序标记各玻璃条；第四步，将玻璃条组合件置于研磨台上，研磨并抛光各玻璃条的一个次大尺寸面，使两个次大尺寸面之间的夹角为θ，抛光面的面形精度为：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度为0.012μm；θ取决于所要求的阶梯厚度差和水平推动精度；第五步，将研磨后的玻璃条组合件放置在烤箱中烘烤，当温度升至400℃后关闭烤箱电源，当烤箱温度自然降至常温时取出玻璃条组合件并放置在装有酒精的器皿中，待相邻楔形玻璃条接触面的紫外胶脱落后，用水清洗楔形玻璃条；第六步，研磨并抛光矩形玻璃块的抛光面，使抛光面与另一个最大尺寸面的夹角为θ，抛光面的面形精度为：N≤2，△N≤0.5，B≤Ⅴ；表面粗糙度为0.012μm；第七步，用水清洗楔形玻璃块，并将序号为1的楔形玻璃条光胶在楔形玻璃块斜面（24）的一侧，使该楔形玻璃条的斜面（14）与楔形玻璃块的斜面（24）相接触且两个接触面的角度互补；第八步，按序选取一个楔形玻璃条使其与前一个序号的楔形玻璃条相邻且光胶在楔形玻璃块斜面（24）的一侧，使该楔形玻璃条的斜面（14）与楔形玻璃块的斜面（24）相接触且两个接触面的角度互补；第九步，用紫外胶对后两个楔形玻璃条的相邻面进行固连，将楔形玻璃块和固连后的楔形玻璃条构成的组合件放置在阶梯厚度差检测仪上进行测量调试，将当前大序号的楔形玻璃条沿水平方向反复推动直到阶梯厚度差检测仪测量出的阶梯厚度差达到要求为止；再使用紫外灯固化紫外胶；第十步，重复第八步和第九步，直至第n个楔形玻璃条与n‑1个楔形玻璃条之间的紫外胶固化为止，之后从楔形玻璃块上取下固化的楔形玻璃条组合件即微阶梯反射镜毛坯；第十一步，将微阶梯反射镜毛坯在干燥柜中放置24小时以上，取出后用镀膜设备在微阶梯反射镜毛坯的阶梯面上镀反射膜，最终形成微阶梯反射镜。