| 发明名称 | 光伏扩散工序中石英舟装载硅片设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片设备，所述设备包含有机台（1），所述机台（1）的工作台面上并排设置有两个用于放置花篮的花篮定位座（1.1），且两个花篮定位座（1.1）之间设置有一用于放置石英舟的石英舟定位座（1.2），所述机台（1）的工作台面上架设有龙门架（3），且机台（1）的工作台面下方通过直线导轨安装有有升降板（4.2），所述升降板（4.2）的顶部安装有两组定位梳齿（2.1），且两组定位梳齿（2.1）分别插至于上述两个花篮定位座（1.1）内的花篮中，上述龙门架（3）的横梁上滑动设置有两组用于抓取硅片的抓手机构（4）。本实用新型一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片设备，具有装载效率高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN204243018U | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201420652063.0 | 申请日期 | 2014.11.05 |
| 申请人 | 江阴方艾机器人有限公司 | 发明人 | 李长英;陈光;高玉良 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 唐纫兰;陈强 |
| 主权项 | 一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片设备，其特征在于：所述设备包含有机台（1），所述机台（1）的工作台面上并排设置有两个用于放置花篮的花篮定位座（1.1），且两个花篮定位座（1.1）之间设置有一用于放置石英舟的石英舟定位座（1.2），所述机台（1）的工作台面上架设有龙门架（3），且机台（1）的工作台面下方通过直线导轨安装有有升降板（4.2），所述升降板（4.2）的顶部安装有两组定位梳齿（2.1），且两组定位梳齿（2.1）分别插至于上述两个花篮定位座（1.1）内的花篮中，上述龙门架（3）的横梁上滑动设置有两组用于抓取硅片的抓手机构（4）。 | ||
| 地址 | 214442 江苏省无锡市江阴市临港经济开发区镇澄路588号 | ||