发明名称 |
电晶体及其制造方法;TRANSISTORS AND FABRICATING METHODS THEREOF |
摘要 |
一种电晶体,包括:一基板;一闸极,形成于基板之上;以及复数个浮空闸极,形成于基板之上,每一浮空闸极间具有一固定距离;其中,基板、多数个浮空闸极、以及闸极间系利用复数个主动区相隔。 |
申请公布号 |
TW201513347 |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
TW102133585 |
申请日期 |
2013.09.17 |
申请人 |
国立清华大学 NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY |
发明人 |
林崇荣 LIN, CHRONG JUNG;金雅琴 KING, YA CHIN |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
杨敏玲 |
主权项 |
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地址 |
新竹市光复路2段101号 TW |