用于薄膜嵌段共聚物之定向控制之酸酐共聚物面涂层;ANHYDRIDE COPOLYMER TOP COATS FOR ORIENTATION CONTROL OF THIN FILM BLOCK COPOLYMERS

摘要

使用自组装嵌段共聚物结构制造改进的微影图案，系依靠控制薄膜中此等结构的定向。尤其是，圆柱及层板垂直于嵌段共聚物膜之平面的定向，是大多数应用所需的。达成定向的较佳方法是藉由加热。本发明涉及使用极性转换面涂层以藉由加热控制嵌段共聚物薄膜定向。可藉由极性浇铸溶剂使面涂层旋涂于嵌段共聚物薄膜上，其于热退火时改变组成以变成“中性”。面涂层使容易达成嵌段共聚物的定向控制(其否则无法仅藉由加热达成)。