光学装置、投影光学系统、曝光装置以及制造物品的方法;OPTICAL APPARATUS, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

摘要

本发明提供一种用于使镜的反射面变形之光学装置，包括：底板；复数个第一致动器，各构造为对与反射面相背对的面施加力；复数个第二致动器，各具有低于第一致动器之刚性的刚性，且构造为对与反射面相背对的面施加力；感测器，构造成检测指示复数个第一致动器的每一个第一致动器之驱动状态的资讯；以及控制单元，构造为根据感测器的输出去控制复数个第一致动器的每一个第一致动器之驱动以及复数个第二致动器的每一个第二致动器之驱动，以使反射面的形状被改变为目标形状。