清洁装置及清洁方法

摘要

本发明系一种清洁装置及清洁方法，可对一载板中待清洁元件之待清洁面进行清洁，包括：一作业轨道，其位于机台台面上，其形成可供一设有待清洁元件之载板移送的输送流路；作业轨道上提供一检测区及一第一清洁区；一检测机构，设于相对该作业轨道之检测区，包括可进行位移之一检测装置，可对位于该检测区之载板进行检测；一第一清洁机构，设于相对该作业轨道之第一清洁区，包括由多数个清洁组件构成的第一清洁模组，可对该载板中待清洁元件之待清洁面进行清洁。