探针卡结构

主权项

一种探针卡结构，用以将一检测机之电源讯号以及测试讯号传输予一待测电子物件，藉以透过该电源讯号供应电源予该待测电子物件，以及透过该测试讯号对该待测电子物件进行电性检测；该探针卡结构包含有：复数根讯号针，以导电材料制成，且其一端用以点触该待测电子物件；一基板，以具有特定介质常数之介质材料制成，用以供与该检测机连接，且其中埋设有以导体制成之一第一讯号传导体；该第一讯号传导体与该检测机、以及其中至少一讯号针之另一端电性连接，用以透过对应之该讯号针传输该测试讯号至该待测电子物件；至少一电源同轴缆线，包含有位于中心位置之一讯号线、包覆该讯号线之一介质层、以及位于该介质层外之接地线；该讯号线与该检测机以及另外至少一讯号针之另一端电性连接，用以透过对应之该讯号针传输该电源讯号至该待测电子物件；该介质层用以隔离该讯号线与该接地线；该接地线用以做为接地；该电源同轴缆线符合以下条件：1/5≦ΦP1/ΦP2<1；其中，ΦP1为该讯号线的线径；ΦP2为该介质层的径长。