雷射加工装置

主权项

一种雷射加工装置，其具备：雷射光源；透明构件，设置于从前述雷射光源射出的雷射光之光程中，而使前述雷射光穿透；接触式之温度感测器，设置于未照射有雷射光之之前述透明构件之表面，且检测从前述透明构件之中心起算为第1距离的前述透明构件之表面与比前述第1距离还远之第2距离的前述透明构件之表面之间的温度差；以及控制装置，根据藉由前述温度差感测器而检测出之温度差进行焦点位置之修正，俾使聚光于被加工物上的前述雷射光之光束径成为一定。