用于检查样品的表面的设备及方法

摘要

本发明涉及一种用于检查样品的表面的设备，其中所述设备包含用于产生一次带电粒子束阵列的至少一个带电粒子源、用于将所有的带电粒子束引导到共同相交区的聚焦透镜、用于将所述一次带电粒子束从所述共同相交区向所述样品表面引导并用于将所有的一次带电粒子束在所述样品表面聚焦成独立的点的阵列的透镜系统、和被至少大致地放置在包含所述共同相交区的平面内或附近的位置灵敏二次电子探测器。

主权项

一种用于检查样品的表面的设备，其中所述设备包含用于产生一次带电粒子束阵列的多束带电粒子发生器，用于将所有的带电粒子束引导到共同相交区的聚焦透镜，用于将所述一次带电粒子束从所述共同相交区向所述样品表面引导并用于将所有的一次带电粒子束在所述样品表面聚焦成独立的点的阵列的透镜系统，其特征在于，所述设备包含位置灵敏二次电子探测器，所述探测器被至少大致地放置在包含所述共同相交区的平面内或附近。