晶体匹配角离线测量误差实时修正方法

摘要

本发明公开了一种晶体匹配角离线测量误差实时修正方法，应用激光自准直仪监测晶体匹配角测量过程中入射激光漂移角度，若激光漂移角度大于预设阈值0.4″则舍去该角漂过大的测量数据，应用自准直仪监测晶体测量过程中待测晶体发生的旋转角度偏差，将其中保留的旋转角度偏差代入进匹配角计算中。其显著效果是：通过自准直仪对测量过程中光路基准偏移和光学角漂进行实时修正，并在晶体匹配角测量过程中的对动态误差进行了修正，改变了过去只针对基准的静态误差修正情况，保证了晶体匹配角测量的精确性，可以最大程度消除大口径晶体离线测量系统中的动态测量误差。

主权项

一种晶体匹配角离线测量误差实时修正方法，其特征在于按照以下步骤进行：步骤1：在晶体最佳匹配角测量过程中，采用晶体自准直仪监测各测量点在不同角度下发生的待测晶体旋转角度偏差x’_i，其中i为测量序号，i＝1～n；步骤2：采用激光自准直仪测量入射光束的激光角漂θ’_i，并与预设阈值θ₀比较，若θ’_i大于θ₀，则删除该次测量得到的待测晶体旋转角度偏差x’_i与晶体支撑机构的电机位置x_i，若θ’_i小于θ₀，则保留该次测量得到的待测晶体旋转角度偏差x’_i与晶体支撑机构的电机位置x_i，并进入步骤3；步骤3：将保留的待测晶体旋转时发生的旋转角度偏差x’_i与晶体支撑机构的电机位置x_i按照x_i＝x_i+x’_i进行拟合，得到晶体支撑机构的实际电机位置x_i以及该位置对应的能量计2和能量计1读数的比值y_i，从而实现消除动态测量误差。