洁净室

摘要

本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监测单元进行清洁。本发明公开的洁净室可以在洁净室内部对卡匣和粒子监测单元进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。

主权项

一种洁净室，用于存放玻璃基板，所述洁净室内设有粒子监测单元，其特征在于，所述洁净室内还设有自动清洁盒，所述自动清洁盒用于对所述粒子监测单元进行清洁；所述洁净室内设有储位架，所述储位架包括多个储位，所述多个储位包括：卡匣储位，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板；自动清洁储位，用于放置所述自动清洁盒；所述洁净室内设有自动化搬运设备，所述自动化搬运设备用于搬运所述卡匣及所述粒子监测单元，实现所述粒子监测单元对多个洁净室的监测。