石英晶片抓取用多孔金属吸头

摘要

本发明公开了一种石英晶片抓取用多孔金属吸头，包括外径为10mm的圆柱体，圆柱体的中心一端为M6×0.5的内螺纹，另一端为内径8mm、深5mm的台阶孔；圆柱体的台阶孔内设置有多根外径为0.5mm，内径为0.35mm的芯棒，多根芯棒卷成直径约7.9mm的芯棒体。本发明能够降低晶片表面压强，成本低廉、寿命长、加工方便。

主权项

一种石英晶片抓取用多孔金属吸头，其特征在于：包括外径为10mm的圆柱体，圆柱体的中心一端为M6×0.5的内螺纹，另一端为内径8mm、深5mm的台阶孔；圆柱体的台阶孔内设置有多根外径为0.5mm，内径为0.35mm的芯棒，多根芯棒卷成直径7.9mm的芯棒体；所述芯棒与圆柱体组装的方法为：工序一，采用导电环氧胶将多根芯棒粘合在一起成为芯棒体；工序二，填充消除芯棒间的空隙，使用内径为7.9mm的圆环在芯棒体上沿轴向来回滑动；工序三，去除多余的残留胶水，待胶水完全凝固以后，使用线切割机切除端部3mm的平面，防止端面被胶水堵塞；工序四，将芯棒体放进圆柱体内径8mm的台阶孔内，使用导电胶密封外圈，待胶水凝固后，使用线切割机去除多余的芯棒；或者，所述芯棒与圆柱体组装的方法为：工序一，将圆柱体加热，将多根芯棒卷成直径8mm以上的芯棒体；工序二，将芯棒体放进高温状态下的圆柱体内，芯棒体被圆柱体压紧，整体冷却到室温；工序三，使用线切割机切除露出圆柱体外的芯棒体；或者，所述芯棒与圆柱体组装的方法为：工序一，制作一压模，压模的内径大于圆柱体的外径；将芯棒体放进圆柱体的台阶孔内；工序二，通过压模压合圆柱体的外圈，将芯棒体压紧；工序三，使用线切割机切除露出圆柱体外的芯棒体。