发明名称 湿法刻蚀机防结晶组件
摘要 本实用新型涉及一种湿法刻蚀机防结晶组件,它包括刻蚀槽体、可转动地设置在所述刻蚀槽体内的一排辊轴,所述刻蚀槽体对应的两侧设置有可开合的挡板,所述挡板上安装有用于开合其的把手,它还包括设置于所述把手下方的浸润槽以及与所述浸润槽相连通且设置于所述辊轴上方的虹吸雾化喷淋器。本实用新型湿法刻蚀机防结晶组件,一方面在把手下方设置浸润槽,当挡板向下旋转而开启时,其与把手一起浸泡于浸润槽中,避免了结晶物的积留;另一方面在辊轴上方设置虹吸雾化喷淋器,并将其与浸润槽相连通,能够加湿整个刻蚀槽体、节约用水并延缓结晶的产生。
申请公布号 CN204243012U 申请公布日期 2015.04.01
申请号 CN201420847361.5 申请日期 2014.12.26
申请人 苏州晶洲装备科技有限公司 发明人 施利君;徐鸽
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 项丽
主权项 一种湿法刻蚀机防结晶组件,它包括刻蚀槽体(1)、可转动地设置在所述刻蚀槽体(1)内的一排辊轴(2),所述刻蚀槽体(1)对应的两侧设置有可开合的挡板(11),所述挡板(11)上安装有用于开合其的把手(12),其特征在于:它还包括设置于所述把手(12)下方的浸润槽(3)以及与所述浸润槽(3)相连通且设置于所述辊轴(2)上方的虹吸雾化喷淋器(6)。
地址 215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇光伏产业园光华环路32号