Ｆｅ－Ｃｏ系合金溅镀靶材料及软磁薄膜层与使用其之垂直磁性记录媒体

摘要

本发明系提供一种可进行稳定的磁控溅镀，并可抑制颗粒的产生之软磁膜成形用的Fe-Co系合金溅镀靶材料及其制造方法，以及软磁薄膜层与使用其之垂直磁性记录媒体。该溅镀靶材料系由Fe-Co系合金所构成，该Fe-Co系合金系由选自Nb、Ta、Mo及W的至少1种M元素、以及Fe与Co的1种或2种、以及不可避免的杂质之残余部分所构成，并且满足下述式(1)：(FeX-Co100-X)100-YMY…(1);[式中，原子比为0≦X≦100及4≦Y≦28]，溅镀靶材料的微组织，具有：以Fe与Co为主体之相、以及由Fe与Co的1种或2种与M元素所构成之金属间化合物相；藉由使由Fe与Co的1种或2种与M元素所构成之金属间化合物相成长为网状，来包围以Fe与Co为主体之相并将其分隔而孤立；由金属间化合物相所孤立之以Fe与Co为主体之相的数目，于前述溅镀靶材料中，每10000μm 2 存在300个以上。