搬送系统

摘要

本发明提供一种搬送系统，其可防止搬送装置与保管容器之接触。搬送系统1系具备有：保管容器3，其保管光罩；旋转棚架5，其载置有保管容器3；棚架移动部7，其使旋转棚架5之载置面5a沿着水平方向移动；搬送装置9，其具有进行昇降及伸长之搬送手臂32a、32b，用以在与保管容器3之间搬送光罩；光学感测器11，其设置在搬送装置9，用以检测出保管容器3；控制部13，其对棚架移动部7及搬送装置9进行控制；及储存部15，其予以储存载置在旋转棚架5上之保管容器3之相对于搬送装置9之上下位置及水平位置的基准值；控制部13系将藉由光学感测器11所检测出之保管容器3之上下位置及水平位置的实际测量值，与储存在储存部15之基准值进行比较，并控制棚架移动部7及搬送装置9之至少一者，而对搬送位置进行修正。