激光退火处理装置、激光退火处理体的制造方法及激光退火处理方法

摘要

本发明能使激光退火处理中使用的脉冲激光的脉冲波形稳定，从而实现均匀的退火处理。本发明的激光退火处理装置包括：气体激发脉冲激光振荡器；以规定的衰减率使从气体激发脉冲激光振荡器输出的脉冲激光透过的可变衰减器；将透过可变衰减器后的脉冲激光引导至被处理体的光学系统；以及进行第一控制的控制部，该第一控制对所述气体激发脉冲激光振荡器的所述脉冲激光的输出值进行调节，控制部进行第二控制，该第二控制根据气体激发脉冲激光振荡器内的气体劣变，使由第一控制所调节的所述输出值下降，并减小可变衰减器的衰减率，从而抑制脉冲波形的变化，消除每个脉冲的不均。

主权项

一种激光退火处理装置，其特征在于，包括： 气体激发脉冲激光振荡器； 可变衰减器，该可变衰减器以规定的衰减率使从该气体激发脉冲激光振荡器输出的脉冲激光透过； 光学系统，该光学系统将透过该可变衰减器的脉冲激光引导至被处理体；以及 控制部，该控制部进行第一控制，该第一控制对所述气体激发脉冲激光振荡器的所述脉冲激光的输出值进行调节， 所述控制部进行第二控制，该第二控制根据所述气体激发脉冲激光振荡器内的气体劣变，降低由所述第一控制所调节的所述输出值，并减小所述可变衰减器的衰减率。