一种破方机切割硅锭的方法

摘要

本发明提供了一种破方机切割硅锭的方法，包括以下步骤：选取F360的石英砂，采用奥克原液，设定浆料温度为18-22℃，浆料的密度为1.635-1.660之间，选定0.3mm线径的结构线，使用90N的张力切割；起刀段时以第一预设速度起刀并逐渐提高到第二预设速度，工作段时以第三预设速度切割，结束段从第三预设速度逐渐降至第四预设速度，且第一预设速度低于第二预设速度，第三预设速度为满速且高于第四预设速度。本发明将机床的切割的过程分为三段，起刀段以第一预设速度低速切割，工作段以第三预设速度高速切割，结束段降至第四预设速度，切割参数的更改在工作段提高了切割速度，缩短了硅锭的加工时间，提高了设备的利用率。

主权项

一种破方机切割硅锭的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)设定参数，选取颗粒度为F360的石英砂，采用奥克原液，设定浆料温度为18‑22℃，浆料的密度为1.635‑1.660之间，选定0.3mm线径的结构线，使用90N的张力进行切割；2)对硅锭进行切割，起刀段时工作台以第一预设速度起刀并逐渐提高到第二预设速度，工作段时工作台以第三预设速度切割，结束段工作台从第三预设速度逐渐降至第四预设速度，其中，第一预设速度低于第二预设速度或第一预设速度等于第二预设速度，第三预设速度为满速且高于第四预设速度。