起吊装置及自动化搬运系统;LIFTING DEVICE AND AUTOMATIC HANDLING SYSTEM

摘要

本发明揭示一种起吊装置，用于将一晶圆盒传送至一自动化搬运系统，该自动化搬运系统包含一悬吊式轨道及至少一位于该悬吊式轨道上的自动搬运车，该起吊装置包括一结合于该自动搬运车上的升降基座、复数个悬吊组件及复数个第一驱动组件。其特征在于，该升降基座具有一水平感测器，用以感测该升降基座系处于一水平状态或一非水平状态，并且该些第一驱动组件可根据该水平感测器所侦测之水平状态同步驱动该些悬吊组件，根据该非水平状态分别驱动该些悬吊组件，以使该升降基座处于该水平状态。本发明另提供一种自动化搬运系统。