发明名称 可线性蒸镀之蒸镀设备喷头
摘要
申请公布号 TWI479040 申请公布日期 2015.04.01
申请号 TW101145648 申请日期 2012.12.05
申请人 国家中山科学研究院 发明人 徐沧铭;林铭俊;韦士珊;王兴建;许鸿川
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 赖国榕 台北市信义区永吉路168号4楼
主权项 一种可线性蒸镀之蒸镀设备喷头,其系透过一枢接结构枢设在一蒸镀设备内所设之镀槽的开口处,包括:一底座,系在中央部位开设有一第一开口,且该底座一侧设有一第一枢接结构,该第一枢接结构与设在该镀槽一侧之第二枢接结构相枢接;二导流板,其一端分别与该第一开口之内侧连接,形成该导流板与该底座连接,且该等导流板之内侧分别设有一导槽,于该等导流板相对应连接时,以使该等导流之两端所形成之第二开口、第三开口能与该第一开口相对应和贯通,而该等导槽内侧面分别设有复数蒸道;二加热板,系分别设在该等导流板之外围,且该等加热板之外围绕设有一加热元件;以及二绝缘板,系分别设在该等加热板之外围,与该等导流板将该等加热板包覆在内,以进行绝缘。
地址 桃园市龙潭区中正路佳安段481号