带状射束之离子束角校准及发射测量系统

主权项

一种离子束角校准及发射测量系统，其包含：一板，其中包含一延伸狭缝，其中的延伸狭缝设置在该板之一转动中心上，并且配置用以容许一第一射束部分由之穿过；一射束电流检测器，其位于该板下游，其中的射束电流检测器在其中包含一狭缝，配置用以允许该第一射束部分的一第二射束部分由之穿过，其中的射束电流检测器配置用以测量与该第一射束部分相关连的一第一射束电流；一射束角度检测器，其位于该射束电流检测器下游且配置用以检测与该第二射束部分相关连的第二射束电流；其中的板、电流射束检测器以及射束角度检测器则是配置用以共同转动于该板的转动中心。