| 摘要 |
<p>【課題】各測定部で共有されるアライメント装置の移動位置の精度を保ちつつ、設置面積の増加や装置コストの増加を抑えてスループットを向上させる。【解決手段】複数の測定部１４と、被測定物であるウエハＷを保持するウエハチャック１６と、複数の測定部１４に移動自在に構成され、被固定部であるベース６２を有し、ウエハチャック１６に保持されたウエハＷと測定部１４との相対的な位置合わせを行うアライメント装置５０と、測定部１４毎に設けられ、各測定部１４に移動したアライメント装置５０を位置決めして固定する位置決め固定装置と、を備える。【選択図】図１</p> |
