发明名称 精细加工方法
摘要 本发明提供对于任意基材均可简便地在表面形成精细的周期结构的精细加工方法。在基材11上涂布玻璃前体12,对玻璃前体12照射短脉冲激光。通过照射短脉冲激光,玻璃前体12活化,发生热反应,可简便地在表面形成精细的周期结构。此外,通过在基材上形成精细的周期结构后进行氧化处理,可在维持精细周期结构的状态下改善表面的颜色。
申请公布号 CN104487394A 申请公布日期 2015.04.01
申请号 CN201380039750.3 申请日期 2013.07.26
申请人 迪睿合电子材料有限公司 发明人 柴田章广;金子直人;厨川常元
分类号 C03C17/27(2006.01)I;B23K26/18(2006.01)I;B23K26/402(2014.01)I;C03C17/02(2006.01)I;C03C23/00(2006.01)I 主分类号 C03C17/27(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李志强;刘力
主权项  精细加工方法,其中,所述方法具有:在基材上涂布玻璃前体的涂布工序,和对所述玻璃前体照射短脉冲激光的照射工序。
地址 日本东京都