图像传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种图像传感器及其制备方法。本发明中，在每个感光区域的感光器件上方的介质层中分布有多个柱状通孔，形成将光导入感光器件的导光区域，可将入射光束缚在该导光区域中，避免光线在传播过程中入射到相邻像素点感光区域中而造成光串扰，从而提高入射光在该导光区域中的传播路线；通过控制该导光区域内通孔的孔径大小、介质材料和分布密度等参数及通孔的排列方式，可调整该导光区域的传输特性，进而达到提高入射进入到上述感光区域内的光强的效果。此外，基于传统图像传感器电路，使用刻蚀和垫积工艺在感光区域上方的介质层中形成多个通孔，操作简便，易于批量生产。

主权项

一种图像传感器，其特征在于，包括多个像素区域，每个像素区域中有一感光器件，每个感光器件表面上方的介质层中分布有多个柱状通孔，形成将光导入感光器件的导光区域，在所述导光区域中，外部通孔密度大于内部通孔密度。